一种抽真空装置的控制系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220581149.X
申请日
2012-10-16
公开(公告)号
CN202883336U
公开(公告)日
2013-04-17
发明(设计)人
臧玉华 单光祥 满起祥 杨传超 马振刚 黄运河 马欣 祁海霞
申请人
申请人地址
266000 山东省青岛市李沧区天水路816号
IPC主分类号
F04B4906
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种抽真空装置的控制系统 [P]. 
臧玉华 ;
单光祥 ;
满起祥 ;
杨传超 ;
马振刚 ;
黄运河 ;
马欣 ;
祁海霞 .
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