感放射线性组合物及图案制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480052348.3

申请日：

2014-09-25

公开(公告)号：

CN105579907A

公开(公告)日：

2016-05-11

发明(设计)人：

信太胜植松照博

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G02B520

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

葛凡

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	公开	公开
2016-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101663893542 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2014800523483 申请日:20140925
2019-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

感放射线性组合物及图案形成方法 [P].

根本龙一 ;

宫尾健介 ;

冈崎聪司 ;

稻见甫 ;

柄川冬辉 .

日本专利 :CN121195208A ,2025-12-23

[2]

感放射线性组合物、图案形成方法及感放射线性酸产生剂 [P].

根本龙一 ;

三田伦广 ;

西井厚登 ;

稻见甫 .

日本专利 :CN120266060A ,2025-07-04

[3]

感放射线性组合物 [P].

中岛诚 ;

高濑显司 ;

武田谕 ;

柴山亘 .

中国专利 :CN107615168A ,2018-01-19

[4]

感放射线性组合物、抗蚀剂图案形成方法及感放射线性酸产生剂 [P].

根本龙一 ;

三宅正之 ;

三田伦广 ;

宫尾健介 ;

冈崎聪司 .

日本专利 :CN119173815A ,2024-12-20

[5]

感放射线性组合物、图案形成方法及鎓盐化合物 [P].

柄川冬辉 ;

根本龙一 ;

大城卓 ;

宫尾健介 ;

稻见甫 .

日本专利 :CN120641824A ,2025-09-12

[6]

感放射线性组合物、图案形成方法及鎓盐化合物 [P].

根本龙一 ;

宫尾健介 ;

冈崎聪司 ;

稻见甫 ;

大城卓 .

日本专利 :CN121175621A ,2025-12-19

[7]

感放射线性组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丸山研 .

中国专利 :CN110325916A ,2019-10-11

[8]

感放射线性组合物、图案形成方法及鎓盐 [P].

根本龙一 ;

阿部祐大 ;

西井厚登 ;

三田伦广 ;

稻见甫 ;

柄川冬辉 .

日本专利 :CN120936946A ,2025-11-11

[9]

感放射线性组合物、图案形成方法及鎓盐 [P].

根本龙一 ;

冰上裕一 ;

三田伦广 ;

三宅正之 ;

稻见甫 .

日本专利 :CN120641823A ,2025-09-12

[10]

感放射线性组合物、硬化膜及显示元件 [P].

工藤和生 ;

吉泽满代 ;

大沼友希 ;

成子朗人 .

日本专利 :CN110286561B ,2025-06-03

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