光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510544653.0

申请日：

2015-08-31

公开(公告)号：

CN105158506A

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

贾平岗熊继军梁庭洪应平曹群房国成薛晨阳刘俊张文栋

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01P1500

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642491936 IPC(主分类):G01P 15/00 专利申请号:2015105446530 申请日:20150831
2015-12-16	公开	公开
2019-11-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P 15/00 申请公布日:20151216

共 50 条

[1]

一种光纤法珀加速度传感器 [P].

李锋 ;

何峰 ;

殷浩 .

中国专利 :CN220542961U ,2024-02-27

[2]

一种MEMS加速度传感器及其制作方法 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN106153982A ,2016-11-23

[3]

一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法 [P].

王鸣 ;

尤晶晶 ;

戴丽华 ;

朱佳利 .

中国专利 :CN103308717A ,2013-09-18

[4]

一种光纤光栅加速度传感器及其制作方法 [P].

张桂林 ;

高侃 ;

薛超 .

中国专利 :CN105158507A ,2015-12-16

[5]

MEMS加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN203385753U ,2014-01-08

[6]

MEMS加速度传感器 [P].

孙志远 .

中国专利 :CN206975061U ,2018-02-06

[7]

MEMS加速度传感器 [P].

亚历桑德鲁·罗基 ;

阿道夫·詹巴斯蒂亚尼 .

中国专利 :CN103185809A ,2013-07-03

[8]

MEMS加速度传感器 [P].

杨斌 .

中国专利 :CN101871952A ,2010-10-27

[9]

一种MEMS光纤加速度传感器 [P].

王一川 ;

王森 .

中国专利 :CN221199717U ,2024-06-21

[10]

SAW-MEMS加速度传感器及制作方法 [P].

杨增涛 ;

卜继军 ;

马晋毅 ;

肖凯 ;

陈小兵 ;

董加和 ;

杨正兵 ;

冷俊林 ;

赵建华 ;

王勇 ;

江黎 .

中国专利 :CN102193001A ,2011-09-21

← 1 2 3 4 5 →