外延生产用取片器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520558794.3

申请日：

2015-07-29

公开(公告)号：

CN204966472U

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

楼琦江

申请人：

申请人地址：

201707 上海市黄浦区北青公路8228号二区48号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

外延片取片器 [P].

楼琦江 .

中国专利 :CN204589371U ,2015-08-26

[2]

外延片生产用罩 [P].

楼琦江 .

中国专利 :CN201753371U ,2011-03-02

[3]

外延片生产用承载盘 [P].

高璇 .

中国专利 :CN201753372U ,2011-03-02

[4]

外延片生产用支撑装置 [P].

楼琦江 .

中国专利 :CN201754401U ,2011-03-02

[5]

外延片生产用承载平台 [P].

顾昱 .

中国专利 :CN201770800U ,2011-03-23

[6]

外延片生产设备 [P].

张健 .

中国专利 :CN204589372U ,2015-08-26

[7]

玻璃生产线取片用叉车 [P].

杨军 ;

李秀春 .

中国专利 :CN203048504U ,2013-07-10

[8]

外延片生产用氮气干燥箱 [P].

邹崇生 ;

金秋联 ;

顾广安 .

中国专利 :CN203744662U ,2014-07-30

[9]

外延片用衬底、外延片及半导体器件 [P].

顾昱 ;

钟旻远 ;

林志鑫 ;

陈斌 .

中国专利 :CN202282351U ,2012-06-20

[10]

半导体硅外延片生产用定位机构 [P].

闪晨晨 ;

张毅 .

中国专利 :CN223723281U ,2025-12-26

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