一种钛酸钡薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201710082174.0
申请日
2017-02-15
公开(公告)号
CN106835045A
公开(公告)日
2017-06-13
发明(设计)人
不公告发明人
申请人
申请人地址
215009 江苏省苏州市高新区美田里路2号5幢113室
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C23C1402 C23C1408 C10M17302 C10N4022
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
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