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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-12 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 23/467 变更事项:发明人 变更前:罗伯特·索尔松德 彼得·尼尔森 变更后:罗伯特·索尔松德 彼得·尼尔森 阿雷·比约内克里特 |
| 2018-09-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/467 申请日:20170120 |
| 2021-12-21 | 授权 | 授权 |
| 2018-08-31 | 公开 | 公开 |