一种太阳能电池用氮化硅膜热处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721794028.2

申请日：

2017-12-20

公开(公告)号：

CN207690819U

公开(公告)日：

2018-08-03

发明(设计)人：

王凯

申请人：

申请人地址：

300000 天津市西青区张家窝镇老君堂村津涞公路88号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-03	授权	授权
2019-12-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20171220 授权公告日:20180803 终止日期:20181220

共 50 条

[1]

氮化硅膜及含有氮化硅膜的硅片和太阳能电池 [P].

范志东 ;

赵学玲 ;

李倩 ;

解占壹 ;

李永超 ;

王涛 .

中国专利 :CN202695460U ,2013-01-23

[2]

一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN207756425U ,2018-08-24

[3]

太阳能电池用氮化硅坩埚 [P].

冯志峰 .

中国专利 :CN201567387U ,2010-09-01

[4]

四层氮化硅膜太阳能电池片清洁组件 [P].

竺峰 ;

张训 .

中国专利 :CN208675180U ,2019-03-29

[5]

氮化硅膜、制备方法及含有氮化硅膜的硅片和太阳能电池 [P].

范志东 ;

赵学玲 ;

李倩 ;

解占壹 ;

李永超 ;

王涛 .

中国专利 :CN102820342A ,2012-12-12

[6]

用于太阳能电池片的氮化硅膜制备装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

冯加保 .

中国专利 :CN204211819U ,2015-03-18

[7]

晶体硅太阳能电池各色氮化硅膜制备方法 [P].

刘贤金 ;

周大良 ;

周小荣 .

中国专利 :CN101834225A ,2010-09-15

[8]

氮化硅的膜制备方法、具有氮化硅膜的太阳能电池片及其制备方法 [P].

赵学玲 ;

范志东 ;

李倩 ;

李永超 ;

王涛 ;

解占壹 .

中国专利 :CN102856174A ,2013-01-02

[9]

氮化硅膜和太阳能电池片的制作方法及太阳能电池片 [P].

马继奎 ;

崔景光 ;

李永超 ;

闫英丽 ;

安海娇 .

中国专利 :CN104409338A ,2015-03-11

[10]

多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置 [P].

任向东 ;

鲍家兴 ;

左云翔 .

中国专利 :CN201326036Y ,2009-10-14

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