溅镀机真空腔抽真空装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN200820139273.4
申请日
2008-10-14
公开(公告)号
CN201209163Y
公开(公告)日
2009-03-18
发明(设计)人
郭晓明
申请人
申请人地址
515100广东省汕头市潮阳区棉北平北工业区金荣大厦
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C23C1456
代理机构
汕头市潮睿专利事务有限公司
代理人
丁德轩
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
溅镀机真空腔保护装置 [P]. 
郭晓明 .
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