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一种半导体生产无尘洁净室风淋装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023110222.9
申请日：
2020-12-22
公开(公告)号：
CN213944175U
公开(公告)日：
2021-08-13
发明(设计)人：
杨李彦
田焱
申请人：
申请人地址：
214174 江苏省无锡市惠山经济开发区智慧路21号综合楼407室
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
B08B1300
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-13 | 授权 | 授权 |