一种MEMS器件残余应力的测量方法及其系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610123474.4

申请日：

2016-03-03

公开(公告)号：

CN105784210A

公开(公告)日：

2016-07-20

发明(设计)人：

施芹裘安萍夏国明

申请人：

申请人地址：

210094 江苏省南京市孝陵卫200号

IPC主分类号：

G01L110

IPC分类号：

代理机构：

南京理工大学专利中心 32203

代理人：

唐代盛

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-13	授权	授权
2016-07-20	公开	公开
2016-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101674711113 IPC(主分类):G01L 1/10 专利申请号:2016101234744 申请日:20160303

共 50 条

[1]

一种MEMS器件残余应力温度特性的测量方法 [P].

裘安萍 ;

施芹 ;

夏国明 .

中国专利 :CN105699424A ,2016-06-22

[2]

一种结构残余应力的测量方法 [P].

张彦军 ;

王新波 .

中国专利 :CN103557971A ,2014-02-05

[3]

一种基于相控阵超声的残余应力测量装置及其测量方法 [P].

张炯 ;

肖俊峰 ;

高斯峰 ;

李永君 ;

唐文书 ;

南晴 ;

高松 .

中国专利 :CN112362204A ,2021-02-12

[4]

管道残余应力的测量方法 [P].

刘锴 ;

王学军 ;

戴国文 ;

侯浩 ;

王兴旺 ;

韩彬 ;

牛盛源 ;

高振华 ;

程凡菊 ;

李立英 .

中国专利 :CN115077763A ,2022-09-20

[5]

一种基于残余应力的变形轮廓测量方法 [P].

孙浩程 ;

李东风 .

中国专利 :CN110487464B ,2019-11-22

[6]

残余应力测量方法 [P].

松田真理子 ;

兜森达彦 ;

高松弘行 .

中国专利 :CN111542750A ,2020-08-14

[7]

残余应力测量方法 [P].

山田真理子 ;

冲田圭介 ;

村上贤治 ;

宫川正宽 .

中国专利 :CN105705925B ,2016-06-22

[8]

残余应力测量方法和残余应力测量装置 [P].

望月章弘 .

中国专利 :CN114599950A ,2022-06-07

[9]

一种金属构件残余应力测量方法 [P].

冯琼 ;

张方 ;

罗娜 ;

高芳 ;

冯秀棚 .

中国专利 :CN121185491A ,2025-12-23

[10]

一种残余应力的测量方法和测量系统 [P].

刘检华 ;

宁汝新 ;

陈涛 ;

唐承统 .

中国专利 :CN102183458A ,2011-09-14

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