一种蚀刻废液回收利用一体化系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220701470.7
申请日
2012-12-18
公开(公告)号
CN203049040U
公开(公告)日
2013-07-10
发明(设计)人
柯传祥
申请人
申请人地址
515000 广东省汕头市潮南区陈店镇谭佛光街西段十横巷1号
IPC主分类号
C23F146
IPC分类号
代理机构
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人
张伟杰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[8]
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[9]
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[10]
一种蚀刻废液回收装置 [P]. 
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