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镀膜方法及镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910089377.1
申请日：
2019-01-30
公开(公告)号：
CN109652761B
公开(公告)日：
2019-04-19
发明(设计)人：
郑建升
申请人：
申请人地址：
518101 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房5、7楼
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1434
C23C1414
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
李文渊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-26 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-19 | 公开 | 公开 |
| 2019-05-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20190130 |