一种掩膜版清洗机台的喷水装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420854542.0

申请日：

2014-12-26

公开(公告)号：

CN204331286U

公开(公告)日：

2015-05-13

发明(设计)人：

马志平

申请人：

申请人地址：

200233 上海市徐汇区宜山路800号

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-13	授权	授权
2019-12-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 1/82 申请日:20141226 授权公告日:20150513 终止日期:20181226

共 50 条

[1]

一种掩膜版清洗机的支撑装置 [P].

叶小稳 .

中国专利 :CN222748844U ,2025-04-11

[2]

一种掩膜版清洗装置 [P].

殷大山 ;

高威 ;

尹春月 .

中国专利 :CN207424526U ,2018-05-29

[3]

一种掩膜版清洗机毛刷机构 [P].

孙多卫 ;

郑宇辰 .

中国专利 :CN221101262U ,2024-06-07

[4]

用于掩膜版清洗机的静电消除装置 [P].

林伟 ;

孙多卫 ;

严超 .

中国专利 :CN211406404U ,2020-09-01

[5]

一种掩膜版机台以及掩膜版转移系统 [P].

胡淳铭 .

中国专利 :CN220491179U ,2024-02-13

[6]

一种掩膜版清洗机毛刷自清洁装置 [P].

叶小稳 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN222568519U ,2025-03-07

[7]

掩膜版清洗设备 [P].

范陆 .

中国专利 :CN221493436U ,2024-08-09

[8]

一种掩膜版清洗机废气气液分离装置 [P].

许鹏亮 .

中国专利 :CN222400811U ,2025-01-28

[9]

一种掩膜版清洗装置 [P].

熊启龙 .

中国专利 :CN201235357Y ,2009-05-13

[10]

一种掩膜版清洗装置 [P].

张振 ;

刘佳擎 .

中国专利 :CN209318325U ,2019-08-30

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