一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821546921.8

申请日：

2018-09-21

公开(公告)号：

CN208904048U

公开(公告)日：

2019-05-24

发明(设计)人：

张军

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京风雅颂专利代理有限公司 11403

代理人：

张拥

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-24	授权	授权
2021-01-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/18 登记生效日:20210104 变更事项:专利权人变更前权利人:君泰创新(北京)科技有限公司变更后权利人:德运创鑫（北京）科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层变更后权利人:101102 北京市通州区中关村科技园区通州园金桥科技产业基地环科中路17号26幢1至3层102-LQ307

共 50 条

[1]

载板回传装置和镀膜载板回传系统 [P].

吴建晓 .

中国专利 :CN214988246U ,2021-12-03

[2]

载板回传装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214099610U ,2021-08-31

[3]

载板回传系统用自动清洁装置 [P].

王利 .

中国专利 :CN202395016U ,2012-08-22

[4]

一种PECVD载板回传设备 [P].

于江 ;

马峥 .

中国专利 :CN221478595U ,2024-08-06

[5]

载板回传装置及真空镀膜加工系统 [P].

齐文龙 ;

刚立刚 ;

李晨堃 ;

张成虎 ;

章伟冠 ;

苏世杰 ;

邢国强 .

中国专利 :CN217230917U ,2022-08-19

[6]

载板回传装置及太阳能电池生产系统 [P].

安乐 ;

李琦 ;

闫宁宁 .

中国专利 :CN223033443U ,2025-06-27

[7]

工装板回传升降装置 [P].

胡爱民 .

中国专利 :CN211619868U ,2020-10-02

[8]

一种复检回传横向移载装置 [P].

徐进 ;

黄小东 ;

顾凯 ;

陈立省 ;

张新勇 .

中国专利 :CN215624582U ,2022-01-25

[9]

一种载具使用的回传装置 [P].

赵文泽 ;

屈新俊 ;

刘保印 ;

申震华 .

中国专利 :CN212580833U ,2021-02-23

[10]

一种玻璃回传系统 [P].

张超 ;

祝令建 .

中国专利 :CN202384311U ,2012-08-15

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