柔性热丝CVD金刚石涂层装备及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610325964.2

申请日：

2016-05-16

公开(公告)号：

CN106167894A

公开(公告)日：

2016-11-30

发明(设计)人：

姚勇叶长炽

申请人：

申请人地址：

201699 上海市松江区松米路2号12幢272室

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644 C23C16458

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：

郭国中

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	授权	授权
2016-11-30	公开	公开
2016-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101693562370 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2016103259642 申请日:20160516

共 50 条

[1]

一种热丝CVD金刚石涂层设备 [P].

刘毅 .

中国专利 :CN210420151U ,2020-04-28

[2]

一种热丝CVD纳米金刚石涂层设备 [P].

葛强 ;

李万春 ;

郭乃祝 .

中国专利 :CN209584368U ,2019-11-05

[3]

一种热丝CVD金刚石涂层设备 [P].

唐杰 ;

单元磊 ;

罗俊旋 ;

黄强元 ;

董朝新 .

中国专利 :CN206635412U ,2017-11-14

[4]

一种热丝CVD金刚石涂层设备 [P].

陈飞 ;

张杰 ;

张奇 .

中国专利 :CN222008031U ,2024-11-15

[5]

一种大容量热丝CVD金刚石涂层设备 [P].

唐杰 ;

陈传继 ;

吕文光 ;

张磊 ;

彭然 ;

候正容 ;

黄苇 .

中国专利 :CN221971668U ,2024-11-08

[6]

CVD金刚石涂层设备 [P].

王俊锋 .

中国专利 :CN204661823U ,2015-09-23

[7]

一种热丝CVD纳米金刚石涂层的自动控制方法 [P].

葛强 ;

李万春 ;

郭乃祝 ;

吴国忠 ;

管新华 ;

雷占全 .

中国专利 :CN110387533A ,2019-10-29

[8]

CVD金刚石涂层设备 [P].

沈彬 .

中国专利 :CN304881547S ,2018-11-06

[9]

基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法 [P].

王弢 ;

杨路 ;

汪亮 ;

孙刘杨 .

中国专利 :CN113737153B ,2024-06-11

[10]

基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法 [P].

王弢 ;

杨路 ;

汪亮 ;

孙刘杨 .

中国专利 :CN113737153A ,2021-12-03

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