一种多晶硅片的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201611145383.7
申请日
2016-12-13
公开(公告)号
CN106784059A
公开(公告)日
2017-05-31
发明(设计)人
陈德榜
申请人
申请人地址
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区滨海十路716号7号楼
IPC主分类号
H01L310236
IPC分类号
H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅片的制备方法 [P]. 
段金刚 ;
明亮 ;
谭晓松 ;
黄俊 ;
瞿海斌 ;
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[2]
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[3]
一种制备绒面多晶硅片的方法 [P]. 
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王胜亚 ;
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[4]
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[5]
一种多晶硅片的制造方法 [P]. 
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[6]
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袁聪 ;
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[7]
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[8]
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[9]
一种多晶硅片的制备方法 [P]. 
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[10]
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陈龙 .
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