自由曲面形貌双边错位差动共焦检测方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810055354.4

申请日：

2018-01-19

公开(公告)号：

CN108267095B

公开(公告)日：

2019-12-17

发明(设计)人：

邱丽荣唐颖奇赵维谦

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

代理机构：

北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639

代理人：

王民盛

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-07	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01B 11/24 变更事项:发明人变更前:邱丽荣唐颖奇赵维谦变更后:赵维谦邱丽荣唐颖奇
2019-10-25	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01B 11/24 变更事项:发明人变更前:赵维谦邱丽荣唐颖奇变更后:邱丽荣唐颖奇赵维谦
2019-12-17	授权	授权
2018-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20180119

共 50 条

[1]

一种自由曲面形貌纳米精度检测方法与装置 [P].

赵维谦 ;

唐颖奇 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN108362221A ,2018-08-03

[2]

双边错位差动共焦测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 ;

王允 .

中国专利 :CN104568390A ,2015-04-29

[3]

双边错位差动共焦层析定焦方法与装置 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN110057550B ,2019-07-26

[4]

双边错位差动共焦元件参数测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN104568389B ,2015-04-29

[5]

双边错位差动共焦超长焦距测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109990983A ,2019-07-09

[6]

双边错位差动共焦曲率半径测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109990733A ,2019-07-09

[7]

双边错位差动共焦柱面曲率半径测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109883358A ,2019-06-14

[8]

自由曲面非接触降维误差分离检测方法与装置 [P].

赵维谦 ;

唐颖奇 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN108225213B ,2018-06-29

[9]

双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109883343A ,2019-06-14

[10]

双边错位差动共焦透镜折射率测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109991191B ,2019-07-09

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