抗蚀剂剥离剂组合物和使用该组合物的抗蚀剂的剥离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080038222.2

申请日：

2010-09-01

公开(公告)号：

CN102483591A

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

水田浩德柿沢政彦

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

丁香兰;张志楠

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-30	公开	公开
2018-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20100901 授权公告日:20140917 终止日期:20170901
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效申请日:20100901 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101332118516 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2010800382222
2014-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P].

藤冈东洋藏 ;

山崎勇人 .

中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28

[2]

抗蚀剂剥离组合物及利用该抗蚀剂剥离组合物剥离抗蚀剂的方法 [P].

金圣植 ;

高京俊 ;

金正铉 ;

慎蕙蠃 ;

李喻珍 .

中国专利 :CN103365121A ,2013-10-23

[3]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

白志钦 ;

吴昌一 ;

柳终顺 .

中国专利 :CN1248057C ,2004-08-11

[4]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

尹嚆重 ;

金祐逸 ;

房淳洪 .

中国专利 :CN104102097A ,2014-10-15

[5]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

白志钦 ;

吴昌一 ;

柳终顺 .

中国专利 :CN1271475C ,2004-06-23

[6]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

白志钦 ;

吴昌一 ;

柳终顺 .

中国专利 :CN1238770C ,2004-06-23

[7]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[8]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

尹锡壹 ;

金圣培 ;

郑宗铉 ;

许舜范 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN101025579A ,2007-08-29

[9]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

李喻珍 ;

高京俊 ;

金正铉 ;

金圣植 .

中国专利 :CN105487354A ,2016-04-13

[10]

抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

辛成健 ;

金柄郁 ;

尹锡壹 ;

郑宗铉 ;

许舜范 ;

郑世桓 ;

张斗瑛 ;

权五焕 ;

朴善周 .

中国专利 :CN102103334A ,2011-06-22

← 1 2 3 4 5 →