微电子机械系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610262766.6

申请日：

2010-01-05

公开(公告)号：

CN105679607A

公开(公告)日：

2016-06-15

发明(设计)人：

唐敏 G·诺维罗 F·伊塔利阿

申请人：

申请人地址：

新加坡城

IPC主分类号：

H01H5000

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张昊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-15	公开	公开
2021-03-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01H 50/00 申请公布日:20160615
2016-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101669710209 IPC(主分类):H01H 50/00 专利申请号:2016102627666 申请日:20100105

共 50 条

[1]

微电子机械系统 [P].

唐敏 ;

G·诺维罗 ;

F·伊塔利阿 .

中国专利 :CN101794678A ,2010-08-04

[2]

微电子机械系统开关 [P].

R·J·T·班彦 ;

D·J·坎布斯 ;

K·M·布伦森 .

中国专利 :CN1842886B ,2006-10-04

[3]

微电子机械系统器件 [P].

山冈徹 ;

三由裕一 ;

竹内祐介 .

中国专利 :CN102066239A ,2011-05-18

[4]

带单电枢的微电子机械系统 [P].

姜锡镇 ;

赵镇佑 .

中国专利 :CN1385357A ,2002-12-18

[5]

微电子机械系统的加工方法 [P].

章安娜 ;

李晓明 .

中国专利 :CN104058362A ,2014-09-24

[6]

微电子机械系统传声器 [P].

金容国 .

中国专利 :CN201937821U ,2011-08-17

[7]

光开关及微电子机械系统 [P].

梁联长 .

中国专利 :CN216411637U ,2022-04-29

[8]

微电子机械系统陀螺仪 [P].

裘进 ;

杨云春 .

中国专利 :CN119509501A ,2025-02-25

[9]

微电子机械系统传声器 [P].

宋青淡 ;

金容国 .

中国专利 :CN201976248U ,2011-09-14

[10]

微电子机械系统陀螺仪 [P].

裘进 ;

杨云春 .

中国专利 :CN116222531B ,2025-06-24

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