一种蒸发源系统维护装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201822211455.4
申请日
2018-12-26
公开(公告)号
CN209508390U
公开(公告)日
2019-10-18
发明(设计)人
庞浩
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
B25J1500 B25J1508
代理机构
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
黄志华
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
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