基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310103884.5

申请日：

2003-11-18

公开(公告)号：

CN1501439A

公开(公告)日：

2004-06-02

发明(设计)人：

村冈祐介齐藤公续岩田智巳深津英司溝端一国雄上野博之奥山靖夫蒲隆坂下由彦渡边克充宗政淳大柴久典猿丸正悟

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21302 B08B300

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101175709816 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2003101038845 申请日:20031118 授权公告日:20080910 终止日期:20101118
2004-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-06-02	公开	公开
2008-09-10	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板处理方法和基板处理系统 [P].

井上正史 ;

泷昭彦 ;

谷口宽树 ;

田中孝佳 ;

中野佑太 .

中国专利 :CN108257890B ,2018-07-06

[2]

基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统 [P].

有贺美辉 ;

山崎和良 ;

青山真太郎 ;

下村晃司 .

中国专利 :CN101326620B ,2008-12-17

[3]

基板处理方法、基板处理系统和基板处理装置 [P].

榎本正志 ;

近藤良弘 .

中国专利 :CN107533955A ,2018-01-02

[4]

基板处理装置、基板处理系统和基板处理方法 [P].

刘福强 ;

王嘉琪 ;

史霄 ;

张康 ;

吴尚东 .

中国专利 :CN117650079A ,2024-03-05

[5]

基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统 [P].

安俊建 ;

李廷焕 ;

权五烈 ;

朴修永 ;

梁承太 .

中国专利 :CN111843218A ,2020-10-30

[6]

基板处理系统和基板处理方法 [P].

中岛干雄 ;

梅崎翔太 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN120077466A ,2025-05-30

[7]

基板处理方法、基板处理系统及基板处理程序 [P].

贝濑精一 ;

岩渕纪之 ;

加藤茂昭 ;

中村博 ;

横内健 ;

柴田真理子 ;

小尾章 .

中国专利 :CN1779906A ,2006-05-31

[8]

基板处理系统和基板处理方法 [P].

月野木涉 ;

山本雄一 .

中国专利 :CN102270562B ,2011-12-07

[9]

基板处理装置和基板处理系统 [P].

林圣人 ;

野口耕平 ;

东广大 ;

绪方诚 .

中国专利 :CN212062395U ,2020-12-01

[10]

基板处理系统和基板处理方法 [P].

土山正志 ;

山本太郎 .

日本专利 :CN117476500A ,2024-01-30

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