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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-17 | 公开 | 公开 |
| 2016-08-24 | 授权 | 授权 |
| 2014-02-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567145809 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011103178182 申请日:20111012 |
| 2019-10-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20111012 授权公告日:20160824 终止日期:20181012 |