曝光台中心调整装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN03262816.1
申请日
2003-09-23
公开(公告)号
CN2645225Y
公开(公告)日
2004-09-29
发明(设计)人
杨建忠 王军 赵波
申请人
申请人地址
712021陕西省咸阳市彩虹路1号
IPC主分类号
H01J920
IPC分类号
G03F720
代理机构
西安通大专利代理有限责任公司
代理人
张军
法律状态
专利申请权、专利权的转移专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
边缘曝光调整装置 [P]. 
刘育 ;
李中秋 .
中国专利 :CN101533227A ,2009-09-16
[2]
主轴中心距调整装置 [P]. 
郑全刚 ;
赵松渤 ;
刘安军 .
中国专利 :CN201154369Y ,2008-11-26
[3]
卡盘中心快速调整装置 [P]. 
邱福兴 .
中国专利 :CN205325218U ,2016-06-22
[4]
曝光值调整装置及曝光值调整方法 [P]. 
林嘉彦 ;
武景龙 ;
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[5]
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[6]
掩模板调整装置及曝光机 [P]. 
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[7]
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[8]
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[9]
电机安装中心的调整装置 [P]. 
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[10]
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