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研磨用组合物

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880023169.5
申请日：
2018-03-14
公开(公告)号：
CN110462797A
公开(公告)日：
2019-11-15
发明(设计)人：
沼田圭祐 土屋公亮 谷口惠 竹本贵之
申请人：
申请人地址：
日本爱知县
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
B24B3700 C09K314
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-12-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20180314
2019-11-15 公开 公开
共 50 条
[1]
研磨用组合物 [P]. 
古本有加里 ;
市坪大辉 .
日本专利 :CN119654704A ,2025-03-18
[2]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 ;
牧野弘 .
中国专利 :CN111512419A ,2020-08-07
[3]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 ;
牧野弘 .
日本专利 :CN111512419B ,2024-05-28
[4]
研磨用组合物 [P]. 
土屋公亮 ;
浅田真希 ;
市坪大辉 .
中国专利 :CN113631680A ,2021-11-09
[5]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 .
日本专利 :CN114846109B ,2024-06-07
[6]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 .
中国专利 :CN113227310A ,2021-08-06
[7]
研磨用组合物 [P]. 
山口佳子 ;
后藤修 ;
土屋公亮 ;
市坪大辉 .
中国专利 :CN113631679A ,2021-11-09
[8]
研磨用组合物 [P]. 
山崎智基 .
中国专利 :CN114846109A ,2022-08-02
[9]
研磨用组合物 [P]. 
松田修平 ;
杉田规章 ;
松下隆幸 .
中国专利 :CN110036086A ,2019-07-19
[10]
研磨用组合物 [P]. 
百田怜史 ;
古本有加里 ;
市坪大辉 ;
土屋公亮 .
日本专利 :CN119301741A ,2025-01-10
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