铜系金属膜的蚀刻液组合物及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710333963.7

申请日：

2017-05-12

公开(公告)号：

CN107365996A

公开(公告)日：

2017-11-21

发明(设计)人：

田玹守金相泰林大成崔容硕

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

G06F3041

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

钟晶;钟海胜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-21	公开	公开
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20170512
2021-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

铜系金属膜的蚀刻液组合物及其应用 [P].

梁承宰 ;

朴升煜 ;

田玹守 .

中国专利 :CN107475716B ,2017-12-15

[2]

铜系金属膜用蚀刻组合物 [P].

郑敬燮 ;

权五柄 ;

朴镛云 .

中国专利 :CN107236957A ,2017-10-10

[3]

铜系金属膜和金属氧化物膜蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

李恩远 ;

朴升煜 ;

梁承宰 .

中国专利 :CN107083552A ,2017-08-22

[4]

一种铜系金属膜蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

李闯 ;

张红伟 ;

胡天齐 ;

黄海东 ;

刘长乐 ;

任亚国 ;

徐帅 .

中国专利 :CN117604527A ,2024-02-27

[5]

铜系金属膜用蚀刻组合物、铜系金属配线和薄膜晶体管阵列基板 [P].

李恩远 ;

崔容硕 .

韩国专利 :CN115852371B ,2025-03-11

[6]

金属膜的蚀刻液组合物 [P].

藤川和宏 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN100572602C ,2005-08-10

[7]

金属膜蚀刻液组合物 [P].

朴相承 ;

金益儁 ;

金载烨 ;

丁锡一 ;

郑民敬 ;

李宝研 ;

李龙儁 ;

金世训 .

中国专利 :CN114540815A ,2022-05-27

[8]

金属膜蚀刻液组合物 [P].

刘仁浩 ;

朴英哲 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107447217A ,2017-12-08

[9]

显示基板的制造方法及铜系金属膜用蚀刻液组合物 [P].

刘仁浩 ;

金宝衡 ;

南基龙 .

中国专利 :CN106995920A ,2017-08-01

[10]

金属膜蚀刻液组合物及显示装置用阵列基板的制造方法 [P].

梁圭亨 ;

金童基 ;

金兑勇 .

中国专利 :CN107630219B ,2018-01-26

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