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薄膜晶体管及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880094275.2
申请日：
2018-06-07
公开(公告)号：
CN112236867A
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
大田裕之
申请人：
申请人地址：
日本国大阪府堺市堺区匠町1番地
IPC主分类号：
H01L29786
IPC分类号：
代理机构：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334
代理人：
叶乙梅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/786 申请日:20180607 |