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一种具有除杂功能的芯片生产设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110084009.5
申请日：
2021-01-21
公开(公告)号：
CN112864077A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
韦冠杰
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区南头街道莲城社区深南大道10128号南山软件园A1908
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
B08B502
F16F1508
F16L55033
F16L5808
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-26 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/683 申请公布日:20210528 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20210121 |