用于微电子工件的电化学－机械加工的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03808920.3

申请日：

2003-02-28

公开(公告)号：

CN1646264A

公开(公告)日：

2005-07-27

发明(设计)人：

斯科特·E·穆尔沃恩集·李斯科特·G·米克尔特伦格·T·多恩

申请人：

申请人地址：

美国艾达荷

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B4910 B23H508 B23H510 C25F700

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王新华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-07-27	公开	公开
2014-04-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101581440487 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL038089203 申请日:20030228 授权公告日:20090819 终止日期:20130228
2005-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

电化学机械加工工件的方法 [P].

H·S·J·阿尔特纳 ;

A·K·德斯尔瓦 .

中国专利 :CN1256652A ,2000-06-14

[2]

电化学方法和用于电化学方法的设备 [P].

维尔拉拉哈文·S.·巴斯克 ;

哈里卡利亚·得里格亚尼 ;

约翰·M.·库特 ;

玛特奥·弗洛塔 .

中国专利 :CN101070602A ,2007-11-14

[3]

电化学加工工件的方法和装置 [P].

H·S·J·阿尔特纳 ;

M·布鲁瑟 ;

A·M·波尔斯马 ;

F·克拉默 .

中国专利 :CN1312744A ,2001-09-12

[4]

电化学设备和用于制造电化学设备的电化学单元的方法 [P].

彼得·施塔尔 ;

于尔根·克拉夫特 ;

米夏埃尔·格茨 .

中国专利 :CN107735893A ,2018-02-23

[5]

电化学设备和用于制造电化学设备的方法 [P].

彼得·施塔尔 ;

于尔根·克拉夫特 ;

曼努埃尔·莫尔科斯 ;

米夏埃尔·格茨 .

中国专利 :CN115428200A ,2022-12-02

[6]

用于电化学设备的电化学单元的双极板和电化学设备 [P].

米夏埃尔·沙伊希 ;

约阿希姆·谢勒 .

德国专利 :CN119604998A ,2025-03-11

[7]

用于电化学设备的电化学单元的双极板和电化学设备 [P].

米夏埃尔·沙伊希 ;

约阿希姆·谢勒 ;

莱安德·赫斯 ;

西蒙·格吕嫩瓦尔德 .

德国专利 :CN119547230A ,2025-02-28

[8]

用于对工件进行电化学加工的方法 [P].

P·马特 ;

M·里斯特 ;

J·施赖纳 .

中国专利 :CN102470468B ,2012-05-23

[9]

电化学设备和用于制造电化学设备的电化学单元的密封元件的方法 [P].

凯瑟琳·库伦 ;

沃尔夫冈·弗里茨 ;

丹尼斯·多林格 ;

奥利弗·芬克 ;

托马斯·迪克斯-朗格拉夫 ;

保罗·沃尔兹 ;

曼努埃尔·扎尔茨曼 ;

安德烈亚斯·施密德 ;

于尔根·克拉夫特 ;

曼努埃尔·莫尔科斯 ;

斯特凡·德温格 ;

卡斯滕·霍恩 .

中国专利 :CN115053020A ,2022-09-13

[10]

用于材料的电化学加工的装置和方法 [P].

迈克尔·施耐德 ;

尼尔斯·容克尔 .

中国专利 :CN112334604A ,2021-02-05

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