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真空镀膜机水冷却循环系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920674419.3
申请日：
2019-05-10
公开(公告)号：
CN210048843U
公开(公告)日：
2020-02-11
发明(设计)人：
卢志坚
申请人：
申请人地址：
528400 广东省中山市火炬开发区中山港出口加工区A幢厂房6层
IPC主分类号：
C23C1400
IPC分类号：
C23C1454
代理机构：
广东高端专利代理事务所(特殊普通合伙) 44346
代理人：
宁凯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 授权 | 授权 |