一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821298555.9

申请日：

2018-08-13

公开(公告)号：

CN208420812U

公开(公告)日：

2019-01-22

发明(设计)人：

王祥科杨坤王富德李建浩

申请人：

申请人地址：

201702 上海市青浦区徐泾镇华徐公路719号6幢2层1号门

IPC主分类号：

G01N3020

IPC分类号：

代理机构：

上海海贝律师事务所 31301

代理人：

范海燕

法律状态：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统 [P].

王祥科 ;

杨坤 ;

王富德 ;

李建浩 .

中国专利 :CN108896689A ,2018-11-27

[2]

一种分析三氯化硼含量的取样装置 [P].

李猛 ;

刘启宾 ;

郑鹏 .

中国专利 :CN211904741U ,2020-11-10

[3]

一种三氯化硼气体提纯用吸附系统 [P].

梁永强 ;

梁成科 .

中国专利 :CN222151452U ,2024-12-13

[4]

一种三氯化硼气体冷却罐 [P].

徐学强 ;

陈亮勋 .

中国专利 :CN217275725U ,2022-08-23

[5]

一种三氯化硼气体冷却罐 [P].

梁永强 ;

梁成科 .

中国专利 :CN222124032U ,2024-12-06

[6]

一种三氯化硼分析采样装置 [P].

张英其 ;

周国付 ;

简娇 .

中国专利 :CN213481818U ,2021-06-18

[7]

一种三氯化硼分析采样装置 [P].

黄加斗 ;

刘辉 ;

徐立 .

中国专利 :CN215525239U ,2022-01-14

[8]

一种乙硼烷制备过程中三氯化硼气体的进料装置 [P].

陈刚军 ;

贾辉 ;

闫晓军 ;

白宇慧 .

中国专利 :CN220940608U ,2024-05-14

[9]

一种生产三氯化硼气体的精馏塔 [P].

梁永强 ;

梁成科 .

中国专利 :CN222110963U ,2024-12-06

[10]

一种电子工业用机柜 [P].

蔡金传 .

中国专利 :CN217936296U ,2022-11-29

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