改进铜电沉积的添加剂效果快速判定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310002555.5

申请日：

2013-01-05

公开(公告)号：

CN103014823A

公开(公告)日：

2013-04-03

发明(设计)人：

于大全徐艳辉伍恒程万

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座4楼

IPC主分类号：

C25D2114

IPC分类号：

C25D704

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

殷红梅

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

用于电沉积的添加剂 [P].

约舒亚·加思·阿博特 ;

叶夫根尼娅·弗雷迪纳 .

中国专利 :CN107148497B ,2017-09-08

[2]

用于电沉积的添加剂 [P].

罗继业 ;

孙耀峰 ;

丘树坚 .

中国专利 :CN103992235B ,2014-08-20

[3]

用于制备具有低氧含量的铜电沉积物的添加剂 [P].

T·皮尔逊 .

中国专利 :CN104428452A ,2015-03-18

[4]

铜电解添加剂 [P].

李德明 .

中国专利 :CN101597768A ,2009-12-09

[5]

一种机械镀锌-铜过程沉积铜用添加剂 [P].

王胜民 ;

赵晓军 ;

李自飞 ;

王建强 ;

何明奕 ;

谭蓉 ;

黄国雄 ;

张国亮 .

中国专利 :CN106498455B ,2017-03-15

[6]

快速评价多孔性滤嘴添加剂吸附效果的方法 [P].

戴亚 ;

俞海军 ;

汪长国 ;

马扩彦 ;

孙玉峰 .

中国专利 :CN103616310B ,2017-01-04

[7]

用于TSV微孔电沉积铜填充工艺的添加剂和电解液 [P].

梅永锋 ;

杨云春 ;

陆原 ;

马琳 .

中国专利 :CN113481553B ,2021-10-08

[8]

凹版硬铜添加剂 [P].

吕智强 ;

水晔 ;

李小平 .

中国专利 :CN102912388A ,2013-02-06

[9]

铜互连电镀添加剂的评价方法 [P].

李明 ;

张俊红 ;

曹海勇 ;

孙琪 .

中国专利 :CN103728352B ,2014-04-16

[10]

对基质添加剂的改进 [P].

P·哈德利 ;

B·蒂普勒 ;

D·布莱尔 .

中国专利 :CN105849162A ,2016-08-10

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-30	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700554719 IPC(主分类):C25D 21/14 专利申请号:2013100025555 变更事项:申请人变更前权利人:江苏中科物联网科技创业投资有限公司变更后权利人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司变更事项:地址变更前权利人:214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座变更后权利人:214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋登记生效日:20140409
2017-08-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758136471 IPC(主分类):C25D 21/14 专利号:ZL2013100025555 登记生效日:20170810 变更事项:专利权人变更前权利人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司变更后权利人:上海国增知识产权服务有限公司变更事项:地址变更前权利人:214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋变更后权利人:200331 上海市普陀区银杏路4号155-2室
2015-05-13	授权	授权
2013-04-03	公开	公开
2013-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101448962648 IPC(主分类):C25D 21/14 专利申请号:2013100025555 申请日:20130105
2013-10-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101663056956 IPC(主分类):C25D 21/14 专利申请号:2013100025555 变更事项:申请人变更前权利人:江苏物联网研究发展中心变更后权利人:江苏中科物联网科技创业投资有限公司变更事项:地址变更前权利人:214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座4楼变更后权利人:214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座登记生效日:20130909
2019-11-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C25D 21/14 登记生效日:20191029 变更事项:专利权人变更前权利人:上海国增知识产权服务有限公司变更后权利人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司变更事项:地址变更前权利人:200331 上海市普陀区银杏路4号155-2室变更后权利人:214028 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋