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一种非接触式的配流盘平面度检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921650391.6
申请日：
2019-09-29
公开(公告)号：
CN210773947U
公开(公告)日：
2020-06-16
发明(设计)人：
郑莹洁
李东升
蔡晋辉
胡佳成
申请人：
申请人地址：
310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
IPC主分类号：
G01B1130
IPC分类号：
G01B500
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20190929 授权公告日:20200616 终止日期:20210929 |
| 2020-06-16 | 授权 | 授权 |