一种有源集成氮化硅光子晶体谐振腔传感器及制备方法

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申请号
CN202210203073.5
申请日
2022-03-03
公开(公告)号
CN114705655A
公开(公告)日
2022-07-05
发明(设计)人
刘启发 孟旻佳
申请人
申请人地址
210000 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
IPC主分类号
G01N2141
IPC分类号
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
董建林
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
一种有源集成氮化硅光子晶体谐振腔传感器及制备方法 [P]. 
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[2]
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[3]
一种氮化镓基谐振腔气体传感器的制备方法 [P]. 
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翁国恩 ;
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[4]
一种光子晶体三谐振腔无热化生物传感器 [P]. 
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[5]
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冯佐 ;
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
一种基于多原子光子晶体环形谐振腔的生化传感器 [P]. 
王道斌 ;
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[10]
用于光频梳的氮化硅微环谐振腔的制备方法 [P]. 
冯梁森 ;
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李昱东 ;
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