双面研磨装置用载具、使用该载具的双面研磨机及双面研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680005678.2

申请日：

2006-02-20

公开(公告)号：

CN100481341C

公开(公告)日：

2008-02-20

发明(设计)人：

上野淳一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B24B3704

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

潘培坤

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-22	授权	授权
2008-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-04-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101581315933 IPC(主分类):H01L 21/304 专利号:ZL2006800056782 申请日:20060220 授权公告日:20090422 终止日期:20130220
2008-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

双面研磨装置用载具、使用此载具的双面研磨装置及双面研磨方法 [P].

上野淳一 ;

佐藤一弥 ;

小林修一 .

中国专利 :CN101959647A ,2011-01-26

[2]

双面研磨机及双面研磨方法 [P].

吴康 ;

王庆 ;

杨洪望 ;

何锐楠 ;

魏金波 ;

胡秀媚 .

中国专利 :CN110640621B ,2020-01-03

[3]

双面研磨装置用载具及晶圆的双面研磨方法 [P].

佐佐木正直 ;

内山勇雄 .

中国专利 :CN104903053B ,2015-09-09

[4]

双面研磨机 [P].

谢平 ;

黄春祺 ;

李强 ;

焦庆华 ;

范龙生 ;

吴秋生 ;

赵华 ;

芦小英 .

中国专利 :CN201970202U ,2011-09-14

[5]

双面研磨装置用载具的制造方法及晶圆的双面研磨方法 [P].

佐藤一弥 ;

田中佑宜 ;

小林修一 ;

伊波健路 ;

金城俊成 .

中国专利 :CN104968473A ,2015-10-07

[6]

双面研磨机 [P].

谢光炎 .

中国专利 :CN304767989S ,2018-08-10

[7]

双面研磨机(A) [P].

伏勇 ;

曾旭东 ;

王安全 .

中国专利 :CN304865205S ,2018-10-26

[8]

双面研磨机 [P].

冯博 ;

贺贤汉 .

中国专利 :CN303863354S ,2016-09-21

[9]

双面研磨机 [P].

赵强 .

中国专利 :CN304369904S ,2017-11-24

[10]

双面研磨机 [P].

李夏法 .

中国专利 :CN212859037U ,2021-04-02

← 1 2 3 4 5 →