微纳操控平台位移及旋转角的精密测量系统及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710243559.0

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN106931890B

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

张蓓刘雨高枫赵子琪闫鹏

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B1126

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-17	授权	授权
2017-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101743969374 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2017102435590 申请日:20170414
2021-03-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20170414 授权公告日:20190517 终止日期:20200414
2017-07-07	公开	公开

共 50 条

[1]

微纳操控平台三自由度的测量系统及其测量方法 [P].

张蓓 ;

刘雨 ;

赵子琪 ;

高枫 ;

闫鹏 .

中国专利 :CN106931884B ,2017-07-07

[2]

位移测量系统及其测量方法 [P].

江晓军 ;

刘正国 ;

汪志锋 .

中国专利 :CN101545767A ,2009-09-30

[3]

一种铁路站台位移的测量系统及其测量方法 [P].

王域辰 ;

韩辉 ;

刘伯奇 ;

李国栋 ;

马高峰 ;

冯海龙 ;

魏嘉翀 ;

吴晓龙 ;

贾春磊 ;

韩金霖 ;

胡海天 ;

王博 ;

沈毅峰 ;

陈侣宏 ;

田宇 ;

刘威 ;

孙蒙 .

中国专利 :CN120926885A ,2025-11-11

[4]

位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[5]

微位移的测量方法 [P].

许振丰 ;

金国藩 .

中国专利 :CN100573037C ,2008-07-02

[6]

一种测量位移的外差干涉测量系统及其测量方法 [P].

马明英 ;

段立峰 .

中国专利 :CN101216286A ,2008-07-09

[7]

直线旋转电机及其位移和旋转角度测量方法 [P].

李思阳 ;

邹宇 ;

张广明 .

中国专利 :CN109904991B ,2024-08-09

[8]

直线旋转电机及其位移和旋转角度测量方法 [P].

李思阳 ;

邹宇 ;

张广明 .

中国专利 :CN109904991A ,2019-06-18

[9]

气浮平台位姿测量装置及其测量方法 [P].

马广程 ;

夏红伟 ;

王常虹 ;

李莉 ;

任顺清 ;

凌明祥 ;

曲耀斌 ;

安昊 .

中国专利 :CN102944234B ,2013-02-27

[10]

一种微纳光栅衍射角测量系统及测量方法 [P].

汪云 ;

郭欣达 ;

龚燕妮 ;

万春山 ;

赵恒 ;

苏天宁 ;

张世超 ;

母其飞 ;

徐鳕娇 ;

者宗山 ;

李建民 .

中国专利 :CN114858419A ,2022-08-05

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