一种太阳能电池生产用硅片清洗装置

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专利类型
发明
申请号
CN201710933564.4
申请日
2017-10-10
公开(公告)号
CN107799444A
公开(公告)日
2018-03-13
发明(设计)人
吴荣 洪斯盈 高敏 其他发明人请求不公开姓名
申请人
申请人地址
338000 江西省新余市江渝水区水西镇渝东大道18号江西新能源科技创业园32号信箱
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种太阳能电池生产用硅片清洗装置 [P]. 
佘剑平 ;
佘金荣 ;
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[8]
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[9]
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