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对基板作业系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN03812373.8
申请日：
2003-03-31
公开(公告)号：
CN1656866A
公开(公告)日：
2005-08-17
发明(设计)人：
近藤敏弘
申请人：
申请人地址：
日本爱知县知立市
IPC主分类号：
H05K1302
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张天安
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2007-03-07 | 授权 | 授权 |
| 2021-03-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05K 13/02 申请日:20030331 授权公告日:20070307 终止日期:20200331 |
| 2005-08-17 | 公开 | 公开 |
| 2005-10-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |