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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-22 | 授权 | 授权 |
| 2022-04-29 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:翼龙设备(大连)有限公司 变更后:翼龙半导体设备(无锡)有限公司 变更事项:地址 变更前:116600 辽宁省大连市金州区铁山东路95-2 变更后:214135 江苏省无锡市新吴区汉江路15号环普国际产业园B区30号楼四楼 |