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六氟化硫密度控制器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN96230297.X
申请日：
1996-07-18
公开(公告)号：
CN2282217Y
公开(公告)日：
1998-05-20
发明(设计)人：
姜亦圣
兰锐
姜秀英
申请人：
申请人地址：
157600黑龙江省林口县林口镇
IPC主分类号：
G05D1602
IPC分类号：
H01H3322
代理机构：
机械电子工业部上海专利事务所
代理人：
欧阳坚;包雅芬
法律状态：
专利权的终止未缴年费专利权终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1999-09-22 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |
| 1998-05-20 | 授权 | 授权 |