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薄膜电容器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN99106100.4
申请日：
1999-02-25
公开(公告)号：
CN1236994A
公开(公告)日：
1999-12-01
发明(设计)人：
有田幸司
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2704
IPC分类号：
H01L2128
H01L21283
H01L213205
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
叶恺东
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1999-12-01 | 公开 | 公开 |
| 2005-12-14 | 授权 | 授权 |
| 1999-11-03 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2017-04-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101713158529 IPC(主分类):H01L 27/04 专利号:ZL991061004 申请日:19990225 授权公告日:20051214 终止日期:20160225 |