基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410245702.6

申请日：

2014-06-04

公开(公告)号：

CN104030234B

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

胡娜娜董树荣骆季奎郭维卞晓磊

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山玉山镇苇城南路1699号11层-1109

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B700 G01J142

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20210414 变更事项:专利权人变更前权利人:江苏艾伦摩尔微电子科技有限公司变更后权利人:海宁波恩斯坦生物科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:215300 江苏省苏州市昆山玉山镇苇城南路1699号11层-1109 变更后权利人:314422 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路128号科创中心B座295室
2014-09-10	公开	公开
2016-01-13	授权	授权
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587401713 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014102457026 申请日:20140604

共 50 条

[1]

基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器 [P].

胡娜娜 ;

董树荣 ;

骆季奎 ;

郭维 ;

卞晓磊 .

中国专利 :CN203998935U ,2014-12-10

[2]

基于薄膜体声波谐振器的磁场传感器及制备方法 [P].

韦一 ;

柏沁园 ;

唐莹 ;

王玉龙 .

中国专利 :CN111965572A ,2020-11-20

[3]

基于薄膜体声波谐振器的磁场传感器 [P].

柏沁园 ;

韦一 ;

唐莹 ;

王玉龙 .

中国专利 :CN212569097U ,2021-02-19

[4]

基于薄膜体声波谐振器的湿度传感器件 [P].

赵湛 ;

张萌颖 ;

杜利东 ;

方震 .

中国专利 :CN104990968B ,2015-10-21

[5]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

周杰 ;

李习科 ;

关若飞 ;

蔡耀 ;

孙成亮 ;

王世杰 .

中国专利 :CN119298869A ,2025-01-10

[6]

薄膜体声波谐振器、滤波器及薄膜体声波谐振器制备方法 [P].

缪建民 ;

张瑞珍 .

中国专利 :CN110365306A ,2019-10-22

[7]

基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列 [P].

袁严辉 ;

廖丹 ;

王悦辉 ;

顾晓勤 ;

谢辉 ;

张国庆 ;

黎萍 ;

于楚泓 .

中国专利 :CN109387235A ,2019-02-26

[8]

薄膜体声波谐振器制备方法，薄膜体声波谐振器，滤波器 [P].

吕丽英 ;

吴珂 ;

黎家健 .

:CN118944624A ,2024-11-12

[9]

薄膜体声波谐振器 [P].

胡念楚 ;

杨清华 ;

周冲 .

中国专利 :CN104753493B ,2015-07-01

[10]

薄膜体声波谐振器及其制备工艺 [P].

杨伟欣 ;

宋磊 ;

张志民 .

中国专利 :CN114978083B ,2025-05-27

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