磨削液的再生装置以及磨削液的再生方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780088519.1

申请日：

2017-12-04

公开(公告)号：

CN110461544A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

松本岳池田启一森田彻

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

王海川;张泉陵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	公开	公开
2019-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20171204
2022-09-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B 57/02 申请公布日:20191115

共 50 条

[1]

磨削装置的磨削液供给装置 [P].

山田修 .

中国专利 :CN203956747U ,2014-11-26

[2]

抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置 [P].

大野顺也 ;

川瀬龙洋 ;

井上恭 ;

井城大世 ;

小林繁 ;

増田义登 .

中国专利 :CN103721427B ,2014-04-16

[3]

抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置 [P].

大野顺也 ;

川瀬龙洋 ;

井上恭 ;

井城大世 ;

小林繁 ;

増田义登 .

中国专利 :CN103721432B ,2014-04-16

[4]

酸性液的再生装置及再生方法 [P].

钵木义信 ;

铃木厚生 .

中国专利 :CN112400039A ,2021-02-23

[5]

一种磨削装置的磨削液供给装置 [P].

甘波 ;

钟乐海 ;

李礁 .

中国专利 :CN215318068U ,2021-12-28

[6]

镀液再生装置及镀液再生方法 [P].

铃木健太郎 ;

结城庆 ;

青木文男 .

中国专利 :CN101484615A ,2009-07-15

[7]

蚀刻液再生装置及蚀刻液再生方法 [P].

何毅烽 .

中国专利 :CN111394730B ,2020-07-10

[8]

磨削液过滤装置 [P].

王同和 ;

王一挥 ;

王嘉强 .

中国专利 :CN304140235S ,2017-05-17

[9]

磨削液储存装置 [P].

胡雷 .

中国专利 :CN201102193Y ,2008-08-20

[10]

磨削液清除装置 [P].

朱忠明 ;

胡四海 ;

毛顺福 ;

陈友国 ;

朱胜峰 ;

刘文质 .

中国专利 :CN215617364U ,2022-01-25

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