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镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010221984.1
申请日：
2020-03-25
公开(公告)号：
CN113981376A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
吴婷婷
冯俊敏
张万财
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1454
C23C1456
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
付兴奇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200325 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-30 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/24 变更事项:申请人 变更前:厦门海辰新能源科技有限公司 变更后:厦门海辰储能科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:361006 福建省厦门市厦门火炬高新区（同翔）产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1 变更后:361006 福建省厦门市厦门火炬高新区（同翔）产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1 |
| 2022-05-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/24 登记生效日:20220513 变更事项:申请人 变更前权利人:深圳市海瀚新能源技术有限公司 变更后权利人:厦门海辰新能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508 变更后权利人:361006 福建省厦门市厦门火炬高新区（同翔）产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1 |