硅片承载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011045629.X

申请日：

2020-09-28

公开(公告)号：

CN112151428A

公开(公告)日：

2020-12-29

发明(设计)人：

李海楠王慧杰张宝庆刘哲伟朱道峰马南要博卿王晶晶

申请人：

申请人地址：

100031 北京市西城区旧鼓楼大街47号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

韩世虹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	公开	公开
2021-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20200928

共 50 条

[1]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN112151428B ,2024-11-01

[2]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

[3]

一种硅片承载花篮 [P].

周祥磊 .

中国专利 :CN114583004B ,2025-04-04

[4]

一种硅片的承载装置 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202189765U ,2012-04-11

[5]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[6]

一种新型结构的硅片承载花篮 [P].

周祥磊 .

中国专利 :CN114583004A ,2022-06-03

[7]

一种新型结构的硅片承载花篮 [P].

周祥磊 .

中国专利 :CN213546341U ,2021-06-25

[8]

太阳能硅片承载装置 [P].

焦惠峰 .

中国专利 :CN204407309U ,2015-06-17

[9]

一种新型硅片承载花篮 [P].

周祥磊 .

中国专利 :CN213546278U ,2021-06-25

[10]

一种新型硅片承载花篮 [P].

周祥磊 .

中国专利 :CN114582766A ,2022-06-03

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