共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆片全自动清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021748749.1
申请日：
2020-08-20
公开(公告)号：
CN212625508U
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
程玉学
申请人：
申请人地址：
065201 河北省廊坊市三河市燕郊开发区燕昌路西侧欧森工业园院内A1厂房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 授权 | 授权 |