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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-03 | 授权 | 授权 |
| 2008-12-24 | 公开 | 公开 |
| 2010-06-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101002878514 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2008101252625 申请日:20080623 |
| 2021-06-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20080623 授权公告日:20110803 终止日期:20200623 |