蚀刻酸废液处理系统、蚀刻酸废液处理装置及适用于该系统与装置的蚀刻酸废液处理方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110119469.3
申请日
2011-05-10
公开(公告)号
CN102249449A
公开(公告)日
2011-11-23
发明(设计)人
氷见·英树 普察拉帕里·瑞迪·史林瓦苏鲁 安部·正泰 矶·明典
申请人
申请人地址
日本富山县富山市赤田694番地2
IPC主分类号
C02F904
IPC分类号
代理机构
北京华夏博通专利事务所 11264
代理人
刘俊
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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