硅片外形缺陷在线检测模组

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220424811.0
申请日
2012-08-24
公开(公告)号
CN202757892U
公开(公告)日
2013-02-27
发明(设计)人
刘夏初 苗新利 潘加永
申请人
申请人地址
215168 江苏省苏州市吴中经济开发区兴吴路71号
IPC主分类号
G01N2188
IPC分类号
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
何平
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
换位导线外形缺陷在线检测装置 [P]. 
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仇彩霞 ;
倪袁 .
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[2]
智能缺陷在线检测系统 [P]. 
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[3]
表面缺陷在线检测贴标装置 [P]. 
胡美琴 ;
郑建 ;
贾文彪 ;
蔡强 .
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[4]
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丁敬斌 ;
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[5]
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孙旭光 ;
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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