采用深沟槽隔离的图像传感器的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510280051.9

申请日：

2015-05-28

公开(公告)号：

CN104952896A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

赵立新杨瑞坤

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区盛夏路560号2号楼11楼

IPC主分类号：

H01L27146

IPC分类号：

H01L21762

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	公开	公开
2016-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101679700121 IPC(主分类):H01L 27/146 专利申请号:2015102800519 申请日:20150528
2019-03-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 27/146 申请公布日:20150930

共 50 条

[1]

采用深沟槽隔离的图像传感器及其制作方法 [P].

赵立新 ;

杨瑞坤 .

中国专利 :CN104637968B ,2015-05-20

[2]

采用深沟槽隔离的堆叠图像传感器的制作方法 [P].

赵立新 ;

杨瑞坤 .

中国专利 :CN104701334A ,2015-06-10

[3]

采用深沟槽隔离的图像传感器 [P].

赵立新 ;

杨瑞坤 .

中国专利 :CN204558466U ,2015-08-12

[4]

采用深沟槽隔离的图像传感器 [P].

赵立新 ;

杨瑞坤 .

中国专利 :CN204632760U ,2015-09-09

[5]

采用深沟槽隔离的图像传感器 [P].

霍华德·E·罗德斯 .

中国专利 :CN1832187A ,2006-09-13

[6]

采用背面深沟槽隔离的背照式图像传感器的制作方法 [P].

杨瑞坤 .

中国专利 :CN105810696A ,2016-07-27

[7]

采用背面深沟槽隔离的背照式图像传感器的制作方法 [P].

赵立新 ;

王永刚 ;

李杰 .

中国专利 :CN105826331B ,2016-08-03

[8]

图像传感器及其深沟槽的制作方法 [P].

王玮 ;

范春晖 ;

奚鹏程 .

中国专利 :CN112466900B ,2021-03-09

[9]

图像传感器深沟槽隔离结构的填充方法 [P].

孙超 ;

范晓 ;

李佳龙 ;

赵德鹏 .

中国专利 :CN115513235A ,2022-12-23

[10]

用于图像传感器的深沟槽隔离结构 [P].

陈刚 ;

彭进宝 .

中国专利 :CN115831988B ,2024-06-18

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