一种晶圆自动检测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721812827.8

申请日：

2017-12-22

公开(公告)号：

CN207650119U

公开(公告)日：

2018-07-24

发明(设计)人：

黄雷

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房

IPC主分类号：

G01N21892

IPC分类号：

B07C5342

代理机构：

苏州华博知识产权代理有限公司 32232

代理人：

黄珩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	授权	授权
2022-12-09	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01N 21/892 登记生效日:20221129 变更事项:专利权人变更前权利人:成功环保科技（南通）有限公司变更后权利人:江苏矽智半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房变更后权利人:226399 江苏省南通市南通高新技术产业开发区金川路323号
2022-12-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 21/892 变更事项:专利权人变更前:昆山成功环保科技有限公司变更后:成功环保科技（南通）有限公司变更事项:地址变更前:215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房变更后:215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房

共 50 条

[1]

MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统 [P].

谭振新 ;

秦毅恒 ;

顾强 ;

罗九斌 ;

明安杰 .

中国专利 :CN202794059U ,2013-03-13

[2]

晶圆工艺环境自动检测系统 [P].

朴征 ;

李郑格 .

中国专利 :CN210640189U ,2020-05-29

[3]

一种晶圆自动检测线 [P].

赵成浩 ;

李凯杰 ;

王子龙 ;

郭明灿 .

中国专利 :CN211529921U ,2020-09-18

[4]

一种自动检测设备及自动检测系统 [P].

杜建铭 ;

程辉辉 ;

王旭照 ;

李琮玮 ;

麦焯伟 .

中国专利 :CN206399847U ,2017-08-11

[5]

一种晶圆自动检测设备 [P].

袁康 .

中国专利 :CN218471896U ,2023-02-10

[6]

一种自动检测系统 [P].

王继迎 ;

王晓波 ;

杨涛 ;

安理 ;

黄世阳 ;

李玉建 ;

林晨 ;

李勇 ;

高坡 ;

武鑫 ;

高靖波 ;

李桂华 ;

王亚欣 ;

赵培 ;

刘辰浩 ;

王富强 ;

刘全中 ;

磨荣祥 ;

于洋 ;

李潇 ;

苏萌 ;

牛巍 ;

孙燕晶 ;

康辰洋 ;

张彦鹏 ;

刘紫晨 ;

高珊 .

中国专利 :CN209764337U ,2019-12-10

[7]

一种工件缺陷自动检测系统 [P].

鞠剑平 ;

马聪 ;

徐志聪 ;

杨国庆 ;

郑朝晖 ;

林明玉 ;

吕毅 .

中国专利 :CN206411025U ,2017-08-15

[8]

管纱外观自动检测系统 [P].

赵瑾 ;

景军锋 ;

高原 ;

杨超 ;

关文峰 .

中国专利 :CN206515253U ,2017-09-22

[9]

晶圆缺陷自动检测系统及方法 [P].

朱慧慧 ;

杨威 ;

唐立志 .

中国专利 :CN118134865A ,2024-06-04

[10]

壳体圆跳自动检测系统 [P].

王宏 .

中国专利 :CN216097875U ,2022-03-22

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